科技日報訊 （記者張曄）2月18日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站（Nano-X）二期項目通過總體驗收，這為未來納米材料研究及納米器件製造提供了全新路徑與可能。

　　來自中國科學技術大學、中國科學院化學研究所、中國科學院蘇州醫工所、中國電子科技集團公司電子科學研究院、蘇州大學5所高校、科研院所組成的7人專家組認為，經過兩期建設，實驗站已建成世界上規模最大、功能最齊全的真空互聯綜合實驗裝置，項目圓滿完成了合同書規定的各項研發任務，達到合同規定的各項技術指標，整體水平達到國際先進。

　　Nano-X是集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體的材料領域重大綜合科學裝置，麵向國家戰略需求和科學前沿重大問題，開創了一條變革性的技術路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯在一起，突破常規超潔淨環境下，獨立分散設備難以實現的材料本征特性、原子級精準調控、表/界麵調控和異質集成、器件原位製造等局限，為國家戰略材料和前沿材料領域研究提供重要建製化、體係化支撐。

　　目前，已有近40台各種大型設備通過203米長的超高真空管道互聯，建成了材料製備模塊、微觀機理準原位分析模塊、跨尺度性能測試模塊、氣氛可控模塊和真空互聯控製與對接係統等五大模塊平台，形成了全真空環境下的納米材料和器件研究開發的綜合實驗係統。

原載於《科技日報》

原文鏈接：

http://digitalpaper.stdaily.com/http_www.kjrb.com/kjrb/html/2023-02/23/content_549204.htm?div=-1