各有關單位、各位老師：

國家自然科學基金委員會發布2023年度指南引導類原創探索計劃“芯片亞納米級製造前沿探索”項目指南。請各有關單位仔細研讀指南和形式審查等條件要求，積極組織申報。現將有關事宜通知如下：

一、科學目標

　　本項目圍繞未來芯片製造麵臨的共性基礎科學問題，旨在通過揭示表界麵亞納米級尺度的定域、定量、定勢調控機製，建立亞納米級精度表麵與結構的可控加工方法，為發展原子級製造開展先導性探索，支撐新一代芯片製造關鍵工藝和裝備能力的升級換代。

二、資助方向

　　（一）芯片製造過程中的亞納米級去除新原理與新方法。

　　（二）芯片先進製程中的三維亞納米級結構構築新原理與新方法。

　　（三）第四代半導體材料的亞納米級製造新原理。

　　（四）芯片亞納米級製造過程中的缺陷檢測與修複。

三、申請程序

項目申請分為預申請和正式申請兩個階段。

1、預申請

預申請提交時間為2023年11月24日-11月26日16時，以國家自然科學基金網絡信息係統提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。申請人按照信息係統中的有關提示填寫預申請相關內容後，直接提交至自然科學基金委。自然科學基金委受理預申請並組織審查，審查結果將以電子郵件形式反饋至申請人。

2、正式申請

預申請審查通過的申請人，應按照“專項項目-原創探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書，正式申請的核心研究內容應與預申請一致。正式申請書請於係統提交截止時間前三個工作日提交，並提前與二級單位及科研院聯係。

四、材料報送

申請人按照項目指南要求填報預申請材料，學院審核後在基金委係統提交，同時將預申報書、形式審查表紙質材料各1份交至科技服務大廳。

五、其他事項

1、具體要求詳見基金委通知: https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info90822.htm

2、後續工作安排如有調整將另行通知，請及時關注國家自然科學基金委和學校網站。

科研院BOB体育官网登陆 建設辦公室（自然科學項目）聯係電話：62901951（吳老師）、62901115（趙老師）

科研院BOB体育官网登陆 建設辦公室

2023年11月14日